氣體質量流量傳感器 - FS4000系列
為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
支持多種連接方式，易于安裝與使用
傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
產品介紹
一、氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產品概述
FS4000系列質量流量傳感器是采用的微機電系統(tǒng)流量傳感器技術和智能電子控制技術，為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003氣體質量流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008氣體質量流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
?二、氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產品主要特性
1）為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
2）支持多種連接方式，易于安裝與使用
3）傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
4）在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
5）輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
6）零點穩(wěn)定度高
7）全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
8）低功耗、低壓損
9）響應速度快
??
三、 ?氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產品技術參數(shù)
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性能參數(shù) |
FS4003 |
FS4008 |
單位 |
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通?徑 |
3 |
8 |
mm |
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流量 |
2,?3,?4,?5 |
10,?20,?30,?40,?50 |
SLPM |
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量程比 |
100:1 |
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精?度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重復性 |
0.75 |
% |
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零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
10（默認，可設置20,50,100,200,500,1000） |
ms |
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工作電源 |
8~18Vdc,100mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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流量壓損 |
100 |
600 |
pa |
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工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10?~?+55 |
℃ |
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存儲溫度 |
-20?~?+65 |
℃ |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 |
BSPT1/4(R1/4) |
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校準方式 |
空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa |
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重量 |
57（帶R1/4,BSPT1/4接口） |
g |
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71 (帶4mm，8mm快速接口) |
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68（帶6mm快速接頭) |
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